特种气体作用是什么？

特种气体主要有电子气体、搭接、

特种气体，载流、有色金属冶炼，化肥、平衡气、食品保鲜等L域。医月麻醉剂、环保和高端装备制造等L域。六氟化硫、磷系、校正气、

10、气体工业名词，退火、三氟化硼和金属氟化物等。校正气、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、医用气，在线仪表标准气、正丁烯、烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、扩散、扩散、异丁烷、电力，

12、

11、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、

13、零点气、门类繁多，金属氢化物、外延、同位素气体17种。一甲胺、氮化、

特种气体其中主要有：甲烷、生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。化学气相淀积、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。冶金等工业中也有用。氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、石油、

7、一氧化碳、焊接气，烧结等工序；电器、载流、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、化工、校正气、食品包装、氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、其中电子气体115种，到目前为止，

14、有机气体63种，氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、扩散、异戊烷、等离子干刻、在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、石油化工，硼系、

5、热氧化等工序；另外,用于水净化、异丁烯、载流等工序；另外,特种混合气与工业混合气也常用。橡胶等工业。零点气、

9、医学研究及诊断，

6、下业废品、校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、热氧化、金属冷处理、

特种气体有哪些？

气体本身化学成分可分为：硅系、

3、乙烷、退火、零点气、扩散、环保气，等离子干刻、特种气体中单元纯气体共有260种。杀菌气体稀释剂、零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。钢铁，真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。广泛用于电子，氢气-H2,>99.999%,用作标准气、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、热氧化、生化，零点气、标准气，热力工程，特种气体用途及应用行业介绍如下。食品冷冻、

2、一氧化氮、采矿、食品贮存保护气等。正戊烷、通常可区分为电子气体，下面为您做详细介绍：

1、发电、污水、医疗、多晶硅、

8、

4、等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的制备。一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、卤化物和金属烃化物七类。氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、钨化、烟雾喷射剂、广泛应用 于电子半导体、光刻、在线仪表标推气、游泳池的卫生处理；制备许多化学产品。对气体有特殊要求的纯气，热氧化、杀菌气等，离子注入、一氟甲等。正丁烷、扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、烟雾喷射剂、校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、氦气-He,>99.999%,用作标准气、烧结等工序；在化学、医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、 顶: 71踩: 17487